X熒光光譜儀作為一種常用的分析檢測(cè)儀器，其已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域及科研方向。但是此種儀器在輕元素的檢測(cè)上還不成熟，尚屬于初期應(yīng)用的階段，怎么樣才能進(jìn)一步提高X熒光光譜儀的檢測(cè)靈敏度呢？
在儀器技術(shù)的改進(jìn)方面，為提高分析靈敏度，這種改進(jìn)主要仍決定于激發(fā)、色散和探測(cè)等三個(gè)基本環(huán)節(jié)。
在激發(fā)源方面：常規(guī)X射線管對(duì)輕元素的激發(fā)，除銠靶外，還發(fā)現(xiàn)鈧靶的效率較高。新型的強(qiáng)大的同步輻射源在分析上的應(yīng)用研究也已開始，在特征X射線外延吸收譜精細(xì)結(jié)構(gòu)研究中更引起人們的高度重視。
在色散元件方面：隨著一些新型晶體，尤其是輕、重元素交替淀積的碳化物多層膜質(zhì)晶體的發(fā)展，在提高衍射效率方面對(duì)輕元素分析有可能獲得較大的效益。對(duì)于超長(zhǎng)波X射線色散用的各種分析晶體和光柵，在提高分辨率和擴(kuò)大應(yīng)用范圍方面，不斷取得新的進(jìn)步。
在探測(cè)器方面：作為能譜儀的心臟，可以在室溫下工作，具有優(yōu)良能量分辨本領(lǐng)的碘化汞晶體探測(cè)器也正在開發(fā)之中。可以說，以上儀器三個(gè)基本環(huán)節(jié)的突破，以及儀器結(jié)構(gòu)的不斷改進(jìn)，對(duì)于提高儀器的使用水平，必將有很大的促進(jìn)。
提高X熒光光譜儀檢測(cè)精度
分析理論和方法的發(fā)展：在物質(zhì)成分的分析方面主要包括克服基體效應(yīng)的基礎(chǔ)研究和擴(kuò)大分析應(yīng)用范圍兩方面?，F(xiàn)在，基體效應(yīng)的數(shù)學(xué)校正法正在通過校正模型的更深入研究和計(jì)算機(jī)軟件的進(jìn)一步開發(fā)，向更高水平的方向發(fā)展。隨著制樣技術(shù)的逐步自動(dòng)化，各種物理化學(xué)前處理方法的改進(jìn)，對(duì)于擴(kuò)大分析含量范圍，包括進(jìn)一步開展痕量元素測(cè)定等工作，在各應(yīng)用部門中仍然有著發(fā)展的前景。
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷深入研究，X熒光光譜儀的應(yīng)用精度將更準(zhǔn)確，應(yīng)用范圍也將更廣。